特許

J-GLOBAL ID：200903049555095656

露光装置

発明者： 神谷 三郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 前田 均 ,  西出 眞吾 ,  大倉 宏一郎 ,  佐藤 美樹
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2001011454
公開番号（公開出願番号）：WO2002-054460
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2002年07月11日
要約：

レーザ干渉計(47)を支持する支持部材(48)に温度調節装置(56)を取り付け、送風口(51)から送風される空気の温度を温度センサ(52)で計測するとともに、支持部材(48)の温度を温度センサ(65)で計測して、送風される空気の温度と支持部材(48)の温度を一致させるようにして、レーザ干渉計(47)の検出光(DL1)の光路上の温度揺らぎの発生を抑制する。

請求項（抜粋）：

計測光学系を介して被計測物体に対して計測用の光ビームを出射して該被計測物体の位置に関する情報を計測する計測装置と、 前記計測光学系を支持する支持部材と、 前記支持部材の温度を調節する温度調節装置とを備えた露光装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F7/20

FI (4件)：

H01L21/30 516B ,  G01B11/00 B ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 516E