特許
J-GLOBAL ID：200903049562849100
露光方法およびプラズマディスプレイパネル
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-367691
公開番号（公開出願番号）：特開2007-171451
出願日： 2005年12月21日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】大画面、大面積に対応して分割して露光する場合でも、パターンのつなぎ部を視認できないレベルとして、例えば、PDPなどの表示装置において非表示状態での外観を損なうことがなく、さらに、表示状態での画質低下を抑制する。【解決手段】基板101上に形成された感光性材料層102を複数の領域に分割し、複数の領域を各領域に対応したパターンを有するフォトマスク103を介して、隣接する領域の端部のパターンを所定面積だけ重複させて露光する露光方法であって、所定面積をパターンの単位長さ当りの面積の10%以上90%以下としている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された感光性材料層を複数の領域に分割し、前記複数の領域を各領域に対応したパターンを有するマスクを介して露光する露光方法であって、隣接する領域の端部において、前記パターンを所定面積で重複させて露光し、かつ重複させる前記面積を前記パターンの単位長さ当りの面積の10%以上90%以下としたことを特徴とする露光方法。
IPC (4件)：
G03F 7/20
, H01J 9/02
, H01J 11/02
, G03F 1/08
G03F7/20 501
, H01J9/02 F
, H01J11/02 B
, G03F1/08 A
2H095BA12
, 2H095BB02
, 2H095BB36
, 2H097AA20
, 2H097GA11
, 2H097LA12
, 5C027AA01
, 5C027AA09
, 5C040GC19
, 5C040GF19
, 5C040GH07
, 5C040JA15
, 5C040MA23
, 5C040MA25
出願人引用 (1件)
審査官引用 (12件)
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画面合成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-150465
出願人：キヤノン株式会社
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特開平2-071509
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プラズマディスプレイパネルの製造方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-134103
出願人：松下電器産業株式会社
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