特許
J-GLOBAL ID：200903049564266900
圧力センサ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
齋藤 義雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353787
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198521
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：
【要約】【目的】 圧力センサ装置において、流路内に流体を残留させず、構成を簡潔化してコストダウンをはかり、ダイアフラムを安定に動作させる。【構成】 センサ保持体21が、流路22内の平坦面25と、センサ保持体21の外面からその平坦面25に向けて形成されたセンサ用穴23を有している。平坦面25と面一で厚さの均一なダイアフラム24がある。圧力センサ31がセンサ用穴23に装着されている。【効果】 流路22内に流体を残留させるような有害な凹みがないから、パージを要する流体の配管系に当該圧力センサ装置を接続して用いるときに、流体の純度、クリーン度を低下させることがない。流路22内を通過する流体が円滑な流動性を示す。ダイアフラム24がセンサ保持体21と一体であるので、ダイアフラム24の組付、シール処理が不要になる。
請求項（抜粋）：
内部が流路により開通されているセンサ保持体と、センサ保持体に装着される圧力センサとを備えた圧力センサ装置において、センサ保持体が、流路内面の少なくとも一部にその流路方向に沿う平坦面を有しているとともに、センサ保持体の外面からその平坦面に向けて形成されたセンサ用穴を有していること、および、これら流路平坦面とセンサ用穴底面との間に、内面が流路の平坦面と面一であって厚さの均一なダイアフラムが介在していること、および、圧力センサがセンサ保持体のセンサ用穴に装着されていることを特徴とする圧力センサ装置。
IPC (2件)：
G01L 19/00 101
, G01L 7/08
