特許

J-GLOBAL ID：200903049583471426

光学薄膜

発明者： 和田 順雄 ,  川俣 健 ,  渡邊 正 ,  鵜澤 邦彦 ,  豊原 延好 ,  出口 武司
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-080164
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277911
出願日： 2002年03月22日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】 多層膜を成膜しても、基板に変形が生じることなく、多層膜が破壊されることを防止する。【解決手段】 光学薄膜は、膜密度が高くなる成膜手段により基板上に屈折率が異なる少なくとも2種類の膜が交互に積層されて構成されており、隣接する膜は内部応力が互いに相殺する方向に生じる膜材料を用いて形成される。

請求項（抜粋）：

膜密度が高くなる成膜手段により、基板上に屈折率が異なる少なくとも2種類の膜が交互に積層された光学薄膜であって、隣接する膜の内部応力が互いに相殺する方向に生じる膜材料を用いて形成されていることを特徴とする光学薄膜。

IPC (4件)：

C23C 14/06 ,  C23C 14/08 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/28

FI (4件)：

C23C 14/06 P ,  C23C 14/08 K ,  G02B 5/28 ,  G02B 1/10 Z

Fターム (26件)：

2H048GA07 ,  2H048GA09 ,  2H048GA12 ,  2H048GA35 ,  2H048GA51 ,  2H048GA60 ,  2H048GA61 ,  2H048GA62 ,  2K009BB02 ,  2K009BB04 ,  2K009CC02 ,  2K009CC42 ,  2K009DD03 ,  2K009DD04 ,  2K009DD07 ,  2K009EE00 ,  4K029BA46 ,  4K029BA50 ,  4K029BB02 ,  4K029BC00 ,  4K029BC08 ,  4K029BD00 ,  4K029BD12 ,  4K029CA03 ,  4K029CA05 ,  4K029DC37