特許
J-GLOBAL ID：200903049585103386
集積化ガスパネル及びその組立方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-336285
公開番号（公開出願番号）：特開平10-169881
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 ガス供給制御ラインの縮小化を図って集積化ガスパネルの内容積を減少し、また制御機器の脱着を容易にしてメンテナンス性を良くし、さらにガス供給制御ラインを標準化した構成パーツにより高自由度な回路設計を可能にすると共にトータル製作リードタイムの短縮を図り、その上、回路構成を短縮、直線化し、置換性、応答性等の向上を図る。【解決手段】 流路ブロック25は、上部に上向き開口の円形の装着穴21を有し、その下側に長円形凹部22を有し、下部一側に長円形凹部22に開口したガス流入通路23を有し、下部他側に長円形凹部22に開口したガス流出通路24を有する。流路ブロック25を順次メタルガスケット28を介してターンバックル式ナット29により接続し、隣接する流路ブロック25のガス流出通路24とガス流入通路23を連通すると共に、多数並設されるガス供給制御ライン20に沿ってベースプレート1に固定する。
請求項（抜粋）：
上部に上向き開口の装着穴を有し、その装着穴の下側に開口するガス通路を有する流路ブロックが、順次メタルガスケットを介してターンバックル式ナットにより隣接する流路ブロックのガス通路同士を互いに連通するように接続されると共に、各流路ブロックが装着穴を多数のガス供給制御ラインに沿わせるようにベースプレート上に固定され、自動ダイヤフラム弁、トグル型手動ダイヤフラム弁、フィルターユニット、チャッキ弁付自動ダイヤフラム弁、減圧弁、レギュレーター、マスフローコントローラー、マスフローメーター等の制御機器が適宜選択の上、それらのボディが各流路ブロックの装着穴にガス穴を有するシールガスケットを介在して装入され、それらのボディに外装された外ねじナットにより前記装着穴にねじ込まれて制御機器が縦型に脱着可能に装着されていることを特徴とする集積化ガスパネル。
IPC (5件)：
F16L 55/00
, F17D 1/04
, H01L 21/02
, H01L 21/205
, H01L 21/3065
F16L 55/00 Z
, F17D 1/04
, H01L 21/02 Z
, H01L 21/205
, H01L 21/302 B
