特許

J-GLOBAL ID：200903049585657799

機能性薄膜の形成法

発明者： 増田 竜司 ,  北村 一浩 ,  川島 孝一
出願人/特許権者： 日本無機株式会社
代理人 (1件)： 清水 善▲廣▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-097280
公開番号（公開出願番号）：特開平6-287090
出願日： 1993年03月31日
公開日（公表日）： 1994年10月11日
要約：

【要約】【構成】 主成分が組成式AOx で表される酸化物基材の表面に主成分が組成式BOy で表される酸化物薄膜を形成する機能性薄膜の形成法であって、前記酸化物基材を、加熱により組成式BOy で表される酸化物になる酸化物前駆体と有機物樹脂とを相溶性のある溶媒に溶解してなる溶液に浸漬した後、乾燥、焼成することにより、前記酸化物基材と前記酸化物薄膜の間にA-O-Bなる結合層を形成させて、前記酸化物薄膜を形成する。【効果】 A-O-Bなる結合層を持つ強固な機能性薄膜を比較的低温で形成することができる。形成される酸化物薄膜の特性に合わせて、例えば耐熱材料、触媒、触媒担体等の用途に広く応用できる。

請求項（抜粋）：

主成分が組成式AOx で表される酸化物基材の表面に主成分が組成式BOy で表される酸化物薄膜を形成する機能性薄膜の形成法であって、前記酸化物基材を、加熱により組成式BOy で表される酸化物になる酸化物前駆体と有機物樹脂とを相溶性のある溶媒に溶解してなる溶液に浸漬した後、乾燥、焼成することにより、前記酸化物基材と前記酸化物薄膜の間にA-O-Bなる結合層を形成させて、前記酸化物薄膜を形成することを特徴とする機能性薄膜の形成法。

IPC (3件)：

C04B 41/87 ,  C03C 17/34 ,  C04B 41/80

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-074366
  
• 特開昭62-297470
  
• 特開昭49-054422