接着基板の製造方法及びこれに用いる接着治具

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：森正澄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-182548
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026334
出願日： 1997年07月08日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【目的】接着基板を形成する際に接着鏡面に気泡が混入することを防止し、接着方法が簡易な接着基板の製造方法及びこれに用いる接着治具を提供すること。【構成】 2枚のウエーハの鏡面同士を接着して形成する接着基板の製造方法であって、2枚のウエーハ4,4は、鏡面同士を向き合わせて所定幅離間して保持し、双方又はどちらか一方のウエーハの一点を加圧して、前記加圧点を接着開始点として周辺部位を順次接着していく接着基板の製造方法及び接着治具である。

請求項（抜粋）：

2枚のウエーハの鏡面同士を接着して形成する接着基板の製造方法であって、前記2枚のウエーハの鏡面同士を向き合わせて非接触のまま設置し、双方又はどちらか一方のウエーハの一点を加圧して、前記加圧点を接着開始点として周辺部位を順次接着するようにしたことを特徴とする接着基板の製造方法。

引用特許：

出願人引用 (3件)

特開昭61-145839
特開平2-267951
特開平2-056918

審査官引用 (3件)

特開昭61-145839
特開平2-267951
特開平2-056918

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