特許
J-GLOBAL ID：200903049608780860
基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284078
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124992
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 キャリアの搬入・搬出処理のスループットを向上させた基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置を提供する。【構成】 前工程からの、複数枚の未処理基板を収納した搬送用キャリア(処理前キャリアPC1、PC2)は、載置台1a、1bで受け取られて載置され、処理前キャリア搬送ロボット3が載置台2a、2bに搬送し、キャリア受渡しロボット9が載置台4に受け渡し、装置10内に搬入される。装置10での処理が終了した複数枚の処理済基板を収納した搬送用キャリア(処理後キャリアEC1、EC2)は、載置台5に載置され、キャリア受渡しロボット9が載置台6a、6bに受け渡し、処理後キャリア搬送ロボット8が載置台7a、7bに搬送し、載置台7a、7bに載置され、AGVに引き渡されて、装置10外に搬出される。
請求項（抜粋）：
基板処理装置の一側面において、複数枚の未処理基板が収納された搬送用キャリア(以下、この搬送用キャリアを「処理前キャリア」という)を前記装置外から前記装置内に搬入するとともに、複数枚の処理済基板が収納された搬送用キャリア(以下、この搬送用キャリアを「処理後キャリア」という)を前記装置内から前記装置外に搬出する基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置において、前記処理前キャリアを前記装置外から受け取るための搬入ステージと、前記搬入ステージで受け取った処理前キャリアを前記装置内に受け渡すための処理前キャリア受渡し部と、前記装置内に設けられ、前記処理前キャリア受渡し部の処理前キャリアを受け取るための処理前キャリア受取り部と、前記装置内に設けられ、前記処理後キャリアを搬出するための処理後キャリア引渡し部と、前記処理後キャリア引渡し部の処理後キャリアを受け取るための処理後キャリア受渡し部と、前記処理後キャリア受渡し部の処理後キャリアを前記装置外に引き渡すための搬出ステージと、前記処理前キャリアを、前記搬入ステージから前記処理前キャリア受渡し部に搬送する処理前キャリア搬送手段と、前記処理後キャリアを、前記処理後キャリア受渡し部から前記搬出ステージに搬送する処理後キャリア搬送手段と、前記処理前キャリア受渡し部と前記処理前キャリア受取り部との間の前記処理前キャリアの受渡しと、前記処理後キャリア引渡し部と前記処理後キャリア受渡し部との間の前記処理後キャリアの受渡しとを行うキャリア受渡し手段と、を備えたことを特徴とする基板処理装置のキャリア搬入・搬出装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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