特許

J-GLOBAL ID：200903049617237509

めっき装置

発明者： 笹部 憲一 ,  本郷 明久 ,  千代 敏 ,  富岡 賢哉 ,  津田 勝巳 ,  粂川 正行
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-228899
公開番号（公開出願番号）：特開2001-049499
出願日： 1999年08月12日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】 基板のめっき面とめっき液との相対速度を基板のめっき面の全面に亘って均一に、かつ十分に大きくできるようにしためっき装置を提供する。【解決手段】 めっき液10を保持する円筒状のめっき槽12と、基板Wを着脱自在に保持して該基板W下面のめっき面がめっき槽12内のめっき液10に接触するように水平に保持する基板保持部14と、該基板保持部14で保持した基板Wとめっき液10との間に変速可能な相対速度を発生させる相対速度発生手段38と、該相対速度発生手段38を制御する制御部52aとを有する。

請求項（抜粋）：

めっき液を保持する円筒状のめっき槽と、基板を着脱自在に保持して該基板下面のめっき面が前記めっき槽内のめっき液に接触するように水平に保持する基板保持部と、該基板保持部で保持した基板とめっき液との間に変速可能な相対速度を発生させる相対速度発生手段と、該相対速度発生手段を制御する制御部とを有することを特徴とするめっき装置。

IPC (5件)：

C25D 17/00 ,  C25D 7/12 ,  C25D 21/10 ,  H01L 21/288 ,  H01L 21/768

FI (5件)：

C25D 17/00 J ,  C25D 7/12 ,  C25D 21/10 ,  H01L 21/288 E ,  H01L 21/90 A

Fターム (27件)：

4K024AA09 ,  4K024AB01 ,  4K024AB02 ,  4K024AB15 ,  4K024BA11 ,  4K024BB12 ,  4K024BC06 ,  4K024BC10 ,  4K024CA10 ,  4K024CA15 ,  4K024CB02 ,  4K024CB09 ,  4K024CB13 ,  4K024CB24 ,  4K024CB26 ,  4K024GA16 ,  4M104BB04 ,  4M104BB30 ,  4M104DD07 ,  4M104DD52 ,  4M104DD75 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104GG13 ,  4M104HH20 ,  5F033HH11 ,  5F033PP27