特許
J-GLOBAL ID:200903049618936885

超高純度Ti金属材料の電子ビームを使用した無汚染溶解法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 明田 莞
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-180249
公開番号(公開出願番号):特開平9-031559
出願日: 1995年07月17日
公開日(公表日): 1997年02月04日
要約:
【要約】【課題】 溶解時の窒素や酸素など空気による汚染を防止した超高純度Ti金属材料の電子ビーム溶解法を提供する。【解決手段】 カソード室、中間室および溶解室が、それぞれ独立に真空排気される構造からなる電子ビーム溶解装置を用いて、超高純度Ti金属材料を電子ビーム溶解するに際し、真空排気後不活性ガスを吹き込み中間室内の圧力を 1×10-4〜 1×10-3torr、溶解室内の圧力を 5×10-5〜 4×10-4torrの範囲に真空度調整しながら、かつ、溶解金属と同じ金属で予備溶解して溶解室内を清浄にした後、電子ビーム溶解する高純度Ti金属材料の電子ビーム溶解法である。
請求項(抜粋):
カソード室、中間室および溶解室が、それぞれ独立に真空排気される構造からなる電子ビーム溶解装置を用いて、超高純度Ti金属材料を電子ビーム溶解するに際し、真空排気後中間室内および溶解室内に不活性ガスを吹き込み真空度調整しながら、かつ、溶解金属と同じ金属で予備溶解して溶解室内を清浄にした後、電子ビーム溶解することを特徴とする超高純度Ti金属材料の電子ビームを使用した無汚染溶解法。
引用特許:
審査官引用 (6件)
  • 特開平2-141539
  • 特開昭62-176667
  • 特公昭36-020201
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