特許
J-GLOBAL ID：200903049622501338
フッ化金属単結晶体製造用の種結晶体
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-130806
公開番号（公開出願番号）：特開2009-280411
出願日： 2008年05月19日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】チョクラルスキー法でフッ化金属単結晶体を製造する際にしばしば生じる、種結晶体表面への黒色物質の付着を抑制し、種結晶体が原料溶融液を弾いてしまう現象を回避し、もって引上げ開始時の種結晶体と原料溶融液との接触が一回で成功する確率を高くする方法を提供する。【解決手段】種結晶体116の原料溶融液104と接触する面の表面粗さRaを0.5μm以下とする。所定の形状に研削加工された種結晶体116を2000番程度の研磨紙布を用い表面に光沢を生じる程度まで研磨すればよい。これにより、黒色物質の付着を大幅に抑制することが可能となり、フッ化金属単結晶体118の製造効率を大幅に向上させることができる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
フッ化金属原料溶融液面に種結晶体を接触させ、ついで種結晶体を引上げることにより単結晶体を製造するチィクラルスキー法によりフッ化金属単結晶体を製造する際に用いる種結晶体であって、該種結晶体の原料溶融液と接触する面の表面粗さRaが0.5μm以下であることを特徴とするフッ化金属単結晶体製造用の種結晶体。
IPC (3件)：
C30B 29/12
, C30B 15/36
, G02B 1/02
C30B29/12
, C30B15/36
, G02B1/02
4G077AA02
, 4G077BE02
, 4G077CF10
, 4G077ED01
, 4G077EE01
, 4G077HA01
, 4G077PJ04
