特許

J-GLOBAL ID：200903049625205381

絶対圧測定装置

発明者： 野村 徳秀
出願人/特許権者： シーケーディ株式会社
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-298102
公開番号（公開出願番号）：特開平9-138170
出願日： 1995年11月16日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】 絶対圧センサを用いなくとも絶対圧の測定を可能とすることに加えて、圧力センサの圧力測定の可能範囲を耐圧限界内においてより拡大すること。【解決手段】 気体室51内の気体の圧力P1を絶対圧に変換すべく、圧力調節用ピストン33及びニードル35の調節が行われる。そのとき、気体室51内の気体の圧力P1は、ゲージ圧センサ23の耐圧限界内に設定される。被測定物の測定時においては、温度センサ44を介して温度変化が検知され、その温度変化分に対応する圧力変化分がゲージ圧センサ23を介して得られた絶対圧に対して補償される。

請求項（抜粋）：

被測定物の絶対圧を測定する絶対圧測定装置において、気体を外部から密閉した状態で収納する密閉室と、該密閉室内に密閉された気体の圧力と被測定物の圧力との差圧を検知して、その差圧に応じた出力を行う差圧検知部と、前記密閉室内の圧力変動を補償する補償手段とを備えた絶対圧測定装置。

IPC (3件)：

G01L 7/00 ,  G01L 13/06 ,  G01L 19/04

FI (3件)：

G01L 7/00 J ,  G01L 13/06 R ,  G01L 19/04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-022040
  
• 特開昭64-012239