特許
J-GLOBAL ID：200903049635529983
センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高野 明近 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-359713
公開番号（公開出願番号）：特開平6-258268
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：
【要約】【目的】 基板の凹部の上に形成された橋架薄膜絶縁体の支持架橋部における破損の防止、更には、前記凹部に落ち込んだゴミによる該凹部のつまりを防止し、更には、該凹部に落ち込んだゴミ等を容易に取り出させることのできるセンサを提供する。【構成】 基板10と、該基板10に形成された凹部11と、基板10より前記凹部11の上に橋架された薄膜絶縁体12と、該薄膜絶縁体12の上に配設された検出素子13より、該検出素子13の抵抗変化より周囲雰囲気の状態を検出する。前記凹部11の中央部に凸起部14を有し、この凸起部14によって、薄膜絶縁体12の橋架部12aが下方に押されても該凸起部14により該橋架部のそれ以上の変形を防止し、もって該薄膜絶縁体12が破損しないようにした。ゴミ等が凹部中央に集まらず、ゴミのつまりによる影響を受けない。
請求項（抜粋）：
基板と、該基板に形成された凹部と、前記基板より前記凹部の上に橋架された薄膜絶縁体と、該薄膜絶縁体の上に配設された検出素子より成り、該検出素子の抵抗変化より周囲雰囲気の状態を検出するセンサにおいて、前記凹部の中央部に凸起部を有することを特徴とするセンサ。
IPC (4件)：
G01N 27/12
, G01F 1/68
, G01K 1/08
, G01P 5/00
