特許
J-GLOBAL ID：200903049636064569
液体冷媒の供給・排出方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 昌久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-311269
公開番号（公開出願番号）：特開平7-136180
出願日： 1993年11月17日
公開日（公表日）： 1995年05月30日
要約：
【要約】【目的】 効率が良く、また、負荷が変化してもそれに見合った液体冷媒を供給する液体冷媒の提供・排出方法及び装置を提供すること。【構成】 図1において、液体冷媒6は熱交換器7によって過冷却され冷却プローブ4に供給される。被冷却体を冷却したもどり冷媒はもどり配管21からデュワ1内に排出される。デュワ1内の圧力は圧力スイッチ8により監視され、所定圧力を超えると電磁弁11が開成し、排気ポンプ15により排気される。図3において、低負荷の場合もどり冷媒は液体冷媒のほうが多く、もどり冷媒はもどり配管21よりメッシュ20aに噴射され、メッシュ20aがもどり液体冷媒により濡れるため、圧力スイッチ8の検知圧力より、デュワ1内の圧力が高まり、液体冷媒6の供給量が減る。高負荷の場合は逆になる。
請求項（抜粋）：
気体を液化した飽和状態の液体冷媒を、所定圧力下に容器内に維持しつつ冷却プローブに供給し、前記容器内の液体冷媒の温度より低く冷却されて維持されている低温液体冷媒を貯蔵した過冷却器内に被冷却体を冷却したもどり冷媒を戻すとともに、前記過冷却器内の気体を排出して所定圧力を制御する液体冷媒の供給・排出方法において、前記過冷却器内の低温液体冷媒を、固化しない圧力であって前記容器内より減圧して維持するとともに、前記容器内の液体冷媒を前記過冷却器内の熱交換器を介して前記低温液体冷媒と熱交換して過冷却状態にて冷却プローブに供給し、前記もどり冷媒を直接または、前記過冷却器内に有る排気管の入口に設けられた乾き度検出機構を介して、前記過冷却器内に戻すとともに、前記過冷却器内の気体を前記排気管により排出することによって前記過冷却器内圧力を前記所定圧力に維持することを特徴とする液体冷媒の供給・排出方法。
引用特許：
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