特許
J-GLOBAL ID：200903049637620430
搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-218487
公開番号（公開出願番号）：特開平7-074225
出願日： 1993年09月02日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】 この発明は搬送ロ-ラから基板へ微粒子が転移するのを防止した洗浄装置を提供することにある。【構成】 基板2を搬送ロ-ラ13によって搬送する搬送装置において、上記搬送ロ-ラと対向する部位には、この搬送ロ-ラを洗浄するノズル25が設けられていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
基板を搬送ロ-ラによって搬送する搬送装置において、上記搬送ロ-ラと対向する部位には、この搬送ロ-ラを洗浄する洗浄手段が設けられていることを特徴とする搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
