特許

J-GLOBAL ID：200903049646661336

基板固定治具及び基板固定方法

発明者： 上岡 義人
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152706
公開番号（公開出願番号）：特開平10-000520
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：

【要約】【課題】 印刷面の平面度を良好にして、ソルダペーストの印刷材料の付着量を安定化すると共に、吸着時の基板位置精度を向上させ、更には基板を強固に固定して印刷位置精度の向上させる基板固定治具を得る。【解決手段】 基板11を真空吸着法を用いて治具2に固定する基板固定治具20であって、該治具20の基板搭載面12に設けられた真空吸引孔13に、通気孔1cを有する筒状部1bと当該筒状部1bに一体的に接合された末拡がり形状を持った吸着部1aとからなる吸着パッド1の当該筒状部1cを挿入する様にした構造を有し、且つ当該真空吸引孔13の周辺部の領域14に、該基板搭載面12から当該治具本体2内部に向けて、当該吸着パッド1の吸着部1aの少なくとも一部が、該基板固定治具20の吸引動作を実行中に於いて該治具の本体部2とは接触しない様な凹陥状の空間部15が設けられている基板固定治具20。

請求項（抜粋）：

基板を真空吸着法を用いて治具に固定する基板固定治具であって、該治具の基板搭載面に設けられた真空吸引孔に、通気孔を有する筒状部と当該筒状部に一体的に接合された可撓性を有する末拡がり状部で構成された吸着部とからなる吸着パッドの当該筒状部を挿入する様にした構造を有し、且つ当該真空吸引孔の周辺部の領域に、該基板搭載面から当該治具本体内部に向けて、当該吸着パッドの吸着部の少なくとも一部が、該基板固定治具の吸引動作を実行中に於いて該治具の本体部とは接触しない様な凹陥状の空間部が設けられている事を特徴とする基板固定治具。

IPC (5件)：

B23Q 3/08 ,  B41F 15/08 303 ,  B41F 15/20 ,  B41F 15/26 ,  H05K 3/12

FI (5件)：

B23Q 3/08 A ,  B41F 15/08 303 E ,  B41F 15/20 ,  B41F 15/26 A ,  H05K 3/12