特許
J-GLOBAL ID：200903049648606073
走査形電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-124344
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306409
出願日： 1996年05月20日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】計算機が一定間隔で電子顕微鏡の状態を監視し、もし異常が生じた場合には、自動的に最適な状態に設定することで、常時最適な装置環境を提供する。【解決手段】走査形電子顕微鏡の自己診断機能で、常時電子線発生状態,電子線通過経路状態,試料室の真空度状態、上記検出器の選択及び使用可能状態の監視を行いそれらの設定値が適切な状態か自己診断を行い、妥当でない状態と診断した場合、自動的に最適な状態に設定する。
請求項（抜粋）：
電子銃と、上記電子銃から発生する電子線がレンズ系の中心を通過するように補正するガンアライメントコイルと、上記電子線を細く絞る収束レンズと、上記収束レンズで収束された電子線を試料上で走査させる偏向コイルと、走査に伴い試料から出力される情報信号を検出する検出器と、情報信号をCRTに表示する表示回路を備えた走査形電子顕微鏡の自己診断機能において、常時電子線発生状態,電子線通過経路状態,試料室の真空度状態、上記検出器の選択及び使用可能状態の監視を行い、それらの設定値が適切な状態か自己診断を行い、妥当でない状態と診断した場合、自動的に最適な状態に設定する自己診断装置を備えたことを特徴とする走査形電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/28 Z
, H01J 37/04 Z
