外観検査方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：筒井大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-317912
公開番号（公開出願番号）：特開2002-198406
出願日： 1990年03月20日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】パターン検査の短縮と作業効率の向上を図る。【解決手段】繰り返しパターン6bのピッチPX,PYの情報に基づいて前記繰り返しパターン6bの存在する領域を算出し、該算出した領域内で前記繰り返しパターン6bの2つの画像信号を比較することにより、前記繰り返しパターン6bの外観を検査する。

請求項（抜粋）：

被検査物の被検査領域に形成されたパターンの外観検査に先立ち、前記被検査領域に配置された繰り返し領域のパターン検査用データを作成するパターン検査用データ作成方法であって、前記被検査領域における複数箇所の任意の検出点の画像を取り込み、前記検出点毎に検出点内におけるパターンの周期性を調査して周期性を有する検出点を繰り返し領域内点と判定し、前記繰り返し領域内点のパターンピッチをパターンの繰り返しピッチとして自動的に抽出するとともに、前記繰り返し領域内点の中から代表点を設定し、その代表点を通過して二次元方向に延びる線上におけるパターンの周期性を調査することにより、前記繰り返し領域全体の位置座標を自動的に抽出することを特徴とするパターン検査用データ作成方法。

IPC (4件)：

H01L 21/66 , G06T 1/00 305 , G06T 7/40 , G06T 7/40 100

FI (4件)：

H01L 21/66 J , G06T 1/00 305 A , G06T 7/40 B , G06T 7/40 100 Z

Fターム (23件)：

4M106AA01 , 4M106AB07 , 4M106BA04 , 4M106CA39 , 4M106DB12 , 4M106DB13 , 4M106DB19 , 4M106DJ04 , 4M106DJ12 , 4M106DJ19 , 4M106DJ21 , 5B057AA03 , 5B057BA02 , 5B057DA03 , 5B057DB02 , 5B057DB09 , 5L096AA06 , 5L096BA03 , 5L096CA14 , 5L096CA24 , 5L096DA02 , 5L096FA23 , 5L096FA46

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平1-140271
特開昭59-192943

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