特許
J-GLOBAL ID:200903049652928115
プラズマリアクタ
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-204201
公開番号(公開出願番号):特開平6-000364
出願日: 1992年06月22日
公開日(公表日): 1994年01月11日
要約:
【要約】【目的】オゾン生成や各種のガス処理,プラズマ処理,プラズマ化学合成反応等を効率よく行うため,ストリーマコロナ放電を原理としたプラズマリアクタの電極構成方法について示している. 本発明により,プラズマ化学反応効率の向上,ストリーマコロナ放電電力の増大,誘電体損失の無いプラズマリアクタの製作などを可能にした.【構成】ストリーマコロナ放電を安定に連続して生じさせるための電極構成方法として,外部円筒電極31の中に中心電極32を置いた同軸円筒構造電極を示している. 中心電極32上に,鋭角部を複数個有する金属33と絶縁体34を交互に配置した電極構成にして,外部円筒電極31と中心電極32の間に高電圧を印加して,電極間にストリーマコロナ放電を発生させている.
請求項(抜粋):
円筒電極(以後,外部円筒電極と記述する.)と,その外部円筒電極の中に同軸状に配置された中心電極からなる同軸円筒構造電極において,中心電極上に鋭角部を複数個有する金属を間隔をおいて複数個設け,中心電極と外部円筒電極との間に高電圧を印加することにより,中心電極上に設けた鋭角部を複数個有する金属から,ストリーマコロナを発生させることを特徴としたプラズマリアクタ.
IPC (2件):
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