特許

J-GLOBAL ID：200903049673486821

ペリクル

発明者： 塚田 泰男 ,  松居 雄毅 ,  岡本 徹 ,  堀田 邦彦 ,  渡辺 法昭
出願人/特許権者： 旭化成電子株式会社 ,  日本軽金属株式会社 ,  株式会社日軽技研
代理人 (1件)： 小松 秀岳 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-054595
公開番号（公開出願番号）：特開平6-250383
出願日： 1993年02月22日
公開日（公表日）： 1994年09月09日
要約：

【要約】【目的】 支持枠表面上にマイクロクラックなどの欠陥をもたないペリクルを提供すること。【構成】 光学的薄膜体と、それを一側に有し、かつ、その反対側の端面に粘着体を有する支持枠とを備えてなるペリクルにおいて、該支持枠は素材が7000系アルミニウム合金であり、表面がアルマイト処理、黒色化処理及び封孔処理が施されており、実質的にマイクロクラックがないペリクル。

請求項（抜粋）：

光学的薄膜体と、それを一側に有し、かつ、その反対側の端面に粘着体を有する支持枠とを備えてなるペリクルにおいて、該支持枠は素材が7000系アルミニウム合金であり、表面がアルマイト処理、黒色化処理及び封孔処理が施されており、実質的にマイクロクラックがないペリクル。

IPC (2件)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027