特許
J-GLOBAL ID：200903049681212145
パターン検出方法ならびにアライメントマーク検出方法およびそれを用いた光学装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-152723
公開番号（公開出願番号）：特開平10-004044
出願日： 1996年06月13日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 アライメントマークを高速且つ高信頼度で検出する。【解決手段】 アライメントマーク17を特定し得るたとえば7箇所の領域A0〜A6 を規定し、アライメントマーク17を含む検出画像を得て、領域A0 〜A6 の位置関係を保持しつつ検出画像を走査して領域A0 に対する他の各領域A1〜A6 の画像信号の相関係数を走査ポイント毎に求め、相関係数の総和が最大となる走査ポイントをアライメントマーク17の位置とする。
請求項（抜粋）：
所定のパターンを特定し得る複数の領域を規定し、前記パターンを含む検出画像を得て、複数の前記領域の位置関係を保持しつつ前記検出画像を走査して何れか1の前記領域に対する他の前記各領域の画像信号の相関係数を走査ポイント毎に求め、前記相関係数の総和が最大となる走査ポイントを前記パターンの位置とすることを特徴とするパターン検出方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/30 525 W
, G03F 9/00 H
