水晶片のカット面検査方法および検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：筒井秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-108592
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283963
出願日： 1992年03月31日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】水晶片のカットアングルを高分解能でかつ高精度に測定できるカット面検査方法および検査装置を提供することにある。【構成】カット面に対して垂直な軸を中心として水晶片を回転させながら、水晶片のカット面にX線を入射させ、カット面でブラッグの条件により回折するX線を検出する。また、レーザ光を水晶片の回転中心部に照射し、カット面で反射したレーザ光を検出し、さらに偏光レーザ光を水晶片のカット面に対して直角に照射し、そのレーザ透過光を測定する。そして、水晶片を1回転させる間における回折X線の変化、レーザ反射光の変化、およびレーザ透過光の変化からカットアングルを測定する。

請求項（抜粋）：

水晶片のカット面に対して垂直な軸を中心として水晶片を回転させる工程と、入射角度がブラッグの条件を満足する角度より小さくなるように、水晶片のカット面にX線を入射させる工程と、カット面でブラッグの条件により回折するX線を検出する工程とを含み、水晶片を1回転させる間における回折X線強度の2回のピーク位置の中点から、水晶片の結晶軸の位置を求めることを特徴とする水晶片のカット面検査方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-238348
水晶カツト面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-257000 出願人：理学電機株式会社

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