特許

J-GLOBAL ID：200903049685247148

端面研磨装置

発明者： 小沢 明夫 ,  皆見 浩二
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-208393
公開番号（公開出願番号）：特開2003-019663
出願日： 2001年07月09日
公開日（公表日）： 2003年01月21日
要約：

【要約】【課題】 微少荷重による研磨が可能で且つ研磨コストを低減すると共に研磨工程を簡略化した端面研磨装置を提供する。【解決手段】 装置本体に回転揺動可能に支持された研磨盤85に装着された研磨部材により治具20に装着された棒状部材を押しつけて研磨する端面研磨装置において、前記装置本体に前記治具20を前記研磨盤85とは反対側に向かって付勢して当該治具20を支持する質量キャンセルばね36と、前記治具20を前記質量キャンセルばね36の付勢力に抗して前記研磨盤85方向に付勢する付勢ばね37と、該付勢ばね37の付勢量を調整する調整手段40とを設ける。

請求項（抜粋）：

装置本体に回転揺動可能に支持された研磨盤に装着された研磨部材により治具に装着された棒状部材を押しつけて研磨する端面研磨装置において、前記装置本体は、前記治具を前記研磨盤とは反対側に向かって付勢して当該治具を支持する質量キャンセルばねと、前記治具を前記質量キャンセルばねの付勢力に抗して前記研磨盤方向に付勢する付勢ばねと、該付勢ばねの付勢量を調整する調整手段とを具備することを特徴とする端面研磨装置。

IPC (4件)：

B24B 41/06 ,  B24B 7/16 ,  B24B 19/00 603 ,  B24B 19/00

FI (4件)：

B24B 41/06 L ,  B24B 7/16 Z ,  B24B 19/00 603 A ,  B24B 19/00 603 B

Fターム (16件)：

3C034AA08 ,  3C034BB71 ,  3C034BB76 ,  3C034CB01 ,  3C034DD08 ,  3C043BC00 ,  3C043CC04 ,  3C043DD05 ,  3C049AA04 ,  3C049AB04 ,  3C049AB08 ,  3C049BA05 ,  3C049BC01 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01 ,  3C049CB03