特許

J-GLOBAL ID：200903049695379425

荷電粒子検出器および荷電粒子検出器の作製方法ならびに荷電粒子検出器を備えた検知装置

発明者： 田所 孝広 ,  竹内 一浩
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-271376
公開番号（公開出願番号）：特開2004-107475
出願日： 2002年09月18日
公開日（公表日）： 2004年04月08日
要約：

【課題】高耐熱性、高計数率、および高時間分解能を有し、経時変化にも強い荷電粒子検出器を開発する。【解決手段】ガラス基板3上にスパッタリングによりガリウム添加酸化亜鉛膜4を堆積させる。この際のターゲットには酸化ガリウムと酸化亜鉛などを用いる。ガラス基板3の裏側の面3aにはガリウム添加酸化亜鉛膜4の蛍光を検出する光電子増倍管6を密着させる。なお、ガリウム添加酸化亜鉛膜4を堆積させたガラス基板3上には、迷光の混入を防止するためにアルミニウムの遮光膜5を形成する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛と酸化ガリウムの混合物をスパッタリングし、ガラス基板または金属枠に挟んだガラス基板上に成膜したガリウム添加酸化亜鉛膜と、前記ガリウム添加酸化亜鉛膜および前記ガラス基板上に成膜させたアルミニウム膜とを有することを特徴とする荷電粒子検出器。

IPC (4件)：

C09K11/00 ,  C09K11/08 ,  C09K11/62 ,  G01T1/20

FI (5件)：

C09K11/00 E ,  C09K11/08 A ,  C09K11/08 G ,  C09K11/62 ,  G01T1/20 B

Fターム (12件)：

2G088EE29 ,  2G088FF06 ,  2G088GG10 ,  2G088GG18 ,  2G088GG19 ,  2G088JJ37 ,  4H001CA04 ,  4H001CA08 ,  4H001CF01 ,  4H001XA08 ,  4H001XA30 ,  4H001XA31