特許
J-GLOBAL ID：200903049697091470
露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-291465
公開番号（公開出願番号）：特開平5-090128
出願日： 1991年11月07日
公開日（公表日）： 1993年04月09日
要約：
【要約】【目的】 微細パターンの高コントラストの像を得ることのできる露光装置を提供する。【構成】 照明光学系4は、好ましくは光源の中心部が遮蔽された輪帯照明の構成をとっており、パターン形成されたフォトマスク1を所定波長の露光光で透過照明する。フォトマスク1の下方には投影光学系2が設けられており、この投影光学系2の瞳面には、フォトマスク1のパターンの辺と平行な方向に電気ベクトルが振動する光のみを透過させる偏光部材5が配置されている。フォトマスク1が透過照明されることにより生じた回折光は投影光学系2で集められ、偏光部材5によって電気ベクトルの振動方向が揃ったTE偏光に変換され、像面3にパターン像を形成する。
請求項（抜粋）：
フォトマスク上のパターンを投影する投影光学系を備えた露光装置において、前記投影光学系のほぼ瞳面に、前記パターンの辺と平行な方向に電気ベクトルが振動している光を透過させる偏光部材が配置されたことを特徴とする露光装置。
IPC (4件)：
H01L 21/027
, G02B 5/30
, G03B 27/32
, G03F 7/20 521
