特許

J-GLOBAL ID：200903049698718689

基板吸着装置

発明者： 金丸 正二
出願人/特許権者： ソニー株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144170
公開番号（公開出願番号）：特開2000-332087
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】 LCD,PDP,FED等のディスプレイのような薄型平板状の基板のフォトレジスト塗布等の製造工程において、該基板側に悪影響を与えることなく基板を吸着固持でき、且つ比較的安価に実施できる基板吸着装置を提供する。【解決手段】 吸引源側に連通するベース台3上には上面に平坦面ステージ2が載置される。このステージ2には多数個の吸着用の溝5からなる吸着路がベース台3側に連通して形成される。この吸着用の溝5の幅寸法は基板の厚みよりも少なくとも小寸の約1%以上99%以下のものからなる。この微細寸法の吸着用の溝5により基板側には吸着用の溝5の転写もなく、良質の画質形成ができる。

請求項（抜粋）：

薄型平板状の基板の製造工程において前記基板側に悪影響を与えることなく該基板を吸着固持するための基板吸着装置であって、該基板吸着装置は、前記基板の搭載される平坦面を表面に形成するステージと、該ステージの表面に開口形成されると共に吸引源側に連通する吸着路とを有し、該吸着路は、少なくとも前記基板の厚みよりも小寸の微細寸法のものからなり、前記平坦面上に多数箇所整然と形成されることを特徴とする基板吸着装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08

FI (2件)：

H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A

Fターム (10件)：

3C016DA03 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031HA02 ,  5F031HA08 ,  5F031HA10 ,  5F031HA14 ,  5F031MA26 ,  5F031MA27 ,  5F031MA32