特許
J-GLOBAL ID：200903049705162691
プラズマアーク法によるC3N4の合成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-302290
公開番号（公開出願番号）：特開平7-133103
出願日： 1993年11月08日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 高温の熱プラズマを用いて、反応により黒鉛を気化させ、短時間に多量のC3N4を生成する。【構成】 C3N4合成方法としてプラズマアーク炉ステンレス反応容器1内の水冷アノード2上に分光分析用黒鉛棒3を置き、密閉した反応容器1系内を一度排気し10-1Paとした後、アルゴン-窒素(1:1)混合ガスをプラズマトーチ4を通して導入し、反応容器1系内を1気圧とした。次に1気圧の反応容器1系内においてアルゴン-窒素(1:1)混合ガスを作動ガスとしてプラズマアークを発生させ、水冷アノード2上に配置させた黒鉛棒3に衝撃して、黒鉛をCNとして蒸発させてステンレス反応容器1内部の内壁に取り付けたシリコンウエハー5上に析出させた。
請求項（抜粋）：
アルゴン-窒素混合ガス雰囲気中で、グラファイト又はタングステンのカソードチップ、および水冷銅アノードを電極として熱プラズマを発生させ、そのアルゴン-窒素混合熱プラズマにより、カソードチップと対向するように配設した水冷銅アノード上に配置したグラファイトを昇華又は溶融,気化させ、反応させることを特徴とするプラズマアーク法によるC3N4の合成方法。
IPC (2件)：
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