特許

J-GLOBAL ID：200903049705727214

回転カップ式処理装置

発明者： 佐合 宏仁 ,  小針 英也 ,  上田 康爾 ,  宮本 英典 ,  高月 龍三
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社 ,  タツモ株式会社
代理人 (2件)： 稲元 富保 (外3名) ,  小山 有 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-069444
公開番号（公開出願番号）：特開平7-275780
出願日： 1994年04月07日
公開日（公表日）： 1995年10月24日
要約：

【要約】【目的】 回転カップ式塗布装置において回転を停止したときの脈動を抑える。【構成】 アウターカップ2には環状をなす排気通路20が形成され、この排気通路20は隔壁21にて大容積のバッファ空間S1と小容積の連通空間S2とに区画され、連通空間S2にはインナーカップ3の排液兼排気孔22が開口し、バッファ空間S1には外部への排気口23が開口している。

請求項（抜粋）：

モータにて回転せしめられるインナーカップの外側にベースに固定されるアウターカップを配置し、このアウターカップにインナーカップの外周に沿った環状の排気通路を形成した回転カップ式処理装置において、前記排気通路は隔壁によって排気装置につながる大容積のバッファ空間と、このバッファ空間と前記インナーカップ内空間とをつなぐ小容積の連通空間とに区画されていることを特徴とする回転カップ式処理装置。

IPC (5件)：

B05C 11/08 ,  G03F 7/16 502 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/306 ,  H01L 21/68

FI (2件)：

H01L 21/30 564 C ,  H01L 21/306 R