特許

J-GLOBAL ID：200903049710540475

超音波洗浄装置

発明者： 松崎 伸樹
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168730
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019667
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】この発明はとくに大型の被洗浄基板を効率よく確実に洗浄できるようにした超音波洗浄装置を提供することにある。【構成】 所定方向に搬送される被洗浄基板4を超音波振動が付与された洗浄液で洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄液に超音波振動を付与してその洗浄液を上記被洗浄基板に向けて流出する第1のノズル体13aと第2のノズル体13bとを有し、これらノズル体は上記被洗浄基板の搬送方向と交差する幅方向に対して一部を重合させるとともに、上記被洗浄基板の搬送方向に対して所定の間隔で離間して配設されることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

所定方向に搬送される被洗浄基板を超音波振動が付与された洗浄液で洗浄する超音波洗浄装置において、上記洗浄液に超音波振動を付与してその洗浄液を上記被洗浄基板に向けて流出する第1のノズル体と第2のノズル体とを有し、これらノズル体は上記被洗浄基板の搬送方向と交差する幅方向に対して一部を重合させるとともに、上記被洗浄基板の搬送方向に対して所定の間隔で離間して配設されることを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/12 ,  B01J 19/10 ,  H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B08B 3/12 D ,  B01J 19/10 ,  H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 341 M

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 噴射形超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-098550   出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行
• 特開昭54-056255