特許

J-GLOBAL ID：200903049719092807

電子顕微鏡

発明者： 小泉 充 ,  青木 進
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-102378
公開番号（公開出願番号）：特開平5-283033
出願日： 1992年03月30日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 電子顕微鏡のオペレータの操作習熟度あるいは作業の種類に応じて操作ボードの操作部材の誤操作を防止する。【構成】 操作用ボード20の複数の操作部材250,252を操作することにより電子線ELを試料Wに照射して試料Wを分析する走査型電子顕微鏡において、操作上の習熟度に応じて少くとも1つの操作部材を選択可能な選択手段210と、選択手段210により選択された少くとも1つの操作部材の種類を記憶する記憶手段220と、記憶手段220により記憶された操作部材の種類のうちの少くとも1つの操作部材を操作阻止可能な設定手段230とからなる電子顕微鏡。

請求項（抜粋）：

操作用ボード(20)の複数の操作部材(250,252)を操作することにより電子線(EL)を試料(W)に照射して試料(W)を分析する電子顕微鏡において、操作上の習熟度に応じて少くとも1つの操作部材を選択可能な選択手段(210)と、選択手段(210)により選択された少くとも1つの操作部材の種類を記憶する記憶手段(220)と、記憶手段(220)により記憶された操作部材の種類のうちの少くとも1つの操作部材を操作阻止可能な設定手段(230)とからなる電子顕微鏡。