カーボンナノチューブの製造方法およびカーボンナノチューブ膜の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大胡典夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-225487
公開番号（公開出願番号）：特開2001-048507
出願日： 1999年08月09日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】【課題】低温処理での、カーボンナノチューブの製造を可能にする。【解決手段】炭化基板8に、ハロゲンを含むガス10を接触させた状態で加熱することで、低温の熱処理で、カーボンナノチューブ13を製造する。

請求項（抜粋）：

炭化物と反応ガスとを接触させ、前記炭化物から炭素以外の元素を除去して炭素のチューブを形成するカーボンナノチューブの製造方法において、前記反応ガスとして、ハロゲンを含むガスを用いることを特徴としたカーボンナノチューブの製造方法。

Fターム (5件)：

4G046CA00 , 4G046CA01 , 4G046CB03 , 4G046CC02 , 4G046CC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

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