特許

J-GLOBAL ID：200903049728184986

拡散装置における酸素ガス巻き込み防止方法、これに用いて好適な拡散装置及びフォーク装置

発明者： 小浜 千尋
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 松村 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-267557
公開番号（公開出願番号）：特開2002-075888
出願日： 2000年09月04日
公開日（公表日）： 2002年03月15日
要約：

【要約】【課題】 拡散炉(炉芯管)内への酸素ガスの巻き込みを出来るだけ阻止でき、その上拡散炉内の酸素濃度を監視できる拡散装置における酸素ガス巻き込み防止方法、これに用いて好適な拡散装置及びフォーク装置を得ること。【解決手段】 本発明の拡散装置1Aは、炉芯管110の上側シャッタ113a及び下側シャッタ114aに不活性ガス供給管115を組み込み、それらが開放された時に、それらの内面に形成されている噴射口116から不活性ガスを噴射してカーテンCを形成できるように構成されており、他の発明のフォーク装置50Aにも、その載置部512において、不活性ガス供給管530の分岐ノズル532a、532b、532cから幅方向に広がりがあり、上方に向かう不活性ガスのシャワーを噴出させられる構造で構成されている。

請求項（抜粋）：

拡散装置の炉芯管の開口部からその内部にフォーク装置に保持された被処理物を投入する場合に、前記炉芯管の開口部の前方に不活性ガスによるカーテンを形成することを特徴とする拡散装置における酸素ガス巻き込み防止方法。

IPC (6件)：

H01L 21/22 501 ,  F27B 5/04 ,  F27B 5/16 ,  F27D 3/06 ,  F27D 7/06 ,  H01L 21/205

FI (6件)：

H01L 21/22 501 S ,  F27B 5/04 ,  F27B 5/16 ,  F27D 3/06 A ,  F27D 7/06 B ,  H01L 21/205

Fターム (18件)：

4K055AA05 ,  4K055AA06 ,  4K055EA00 ,  4K061AA01 ,  4K061BA11 ,  4K061CA21 ,  4K061GA03 ,  4K063AA05 ,  4K063AA06 ,  4K063AA15 ,  4K063BA12 ,  4K063CA03 ,  4K063DA01 ,  4K063DA05 ,  4K063DA34 ,  5F045DP20 ,  5F045DQ06 ,  5F045EN02