特許

J-GLOBAL ID：200903049749280373

パタン化配向性カーボンナノチューブ陰極、パタン化配向性カーボンナノチューブ陰極の製造方法、荷電粒子線露光装置、及び半導体デバイスの製造方法

発明者： 清水 弘泰
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-208157
公開番号（公開出願番号）：特開2002-025424
出願日： 2000年07月10日
公開日（公表日）： 2002年01月25日
要約：

【要約】【課題】 マスクを使用せず、電子源をパタン化することにより露光転写を行うのに適当な配向性カーボンナノチューブ陰極を提供する。【解決手段】 配向性カーボンナノチューブ陰極5から放出された電子は、投影レンズ系6、7によってウェハ8上に配向性カーボンナノチューブ陰極5の像を結ぶ。これにより、特別のマスクやレチクルを用いることなく、配向性カーボンナノチューブ陰極5に形成されたパタンが、ウェハ8面に転写される。

請求項（抜粋）：

配向性カーボンナノチューブを所定パタン状に形成し、所定パタンを有する電子放出面としたことを特徴とするパタン化配向性カーボンナノチューブ陰極。

IPC (10件)：

H01J 1/304 ,  B82B 3/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 9/02 ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/305 ,  H01L 21/027 ,  C01B 31/02 101 ,  C30B 29/02 ,  C30B 29/66

FI (10件)：

B82B 3/00 ,  G03F 7/20 504 ,  H01J 9/02 B ,  H01J 37/073 ,  H01J 37/305 B ,  C01B 31/02 101 F ,  C30B 29/02 ,  C30B 29/66 ,  H01J 1/30 F ,  H01L 21/30 541 B

Fターム (17件)：

2H097AA03 ,  2H097CA16 ,  2H097LA10 ,  4G046CB01 ,  4G046CB09 ,  4G046CC03 ,  4G046CC09 ,  4G077AA10 ,  4G077BA02 ,  4G077CA03 ,  4G077CA09 ,  4G077EJ03 ,  4G077HA15 ,  5C030CC02 ,  5C034BB01 ,  5F056AA08 ,  5F056EA02