特許

J-GLOBAL ID：200903049756183987

欠陥修正機能付き顕微鏡装置

発明者： 森 康雄
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (4件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-187537
公開番号（公開出願番号）：特開2005-021916
出願日： 2003年06月30日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：

【課題】本発明の目的は、良好に観察を行える欠陥修正機能付き顕微鏡を提供することである。【解決手段】欠陥修正機能付き顕微鏡装置1は、被検査対象物の欠陥を観察するための観察顕微鏡20と、欠陥を修正するためのレーザ装置とを有している。この顕微鏡装置1において、観察顕微鏡20の光学系と、上記レーザ装置の光学系とは、夫々独立している。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被検査対象物の欠陥を観察するための観察顕微鏡と、欠陥を修正するためのレーザ装置とを有する欠陥修正機能付き顕微鏡装置であって、 上記観察顕微鏡の光学系と、上記レーザ装置の光学系とは、夫々独立している欠陥修正機能付き顕微鏡装置。

IPC (4件)：

B23K26/00 ,  G01B11/30 ,  G02B21/00 ,  G02B21/26

FI (5件)：

B23K26/00 H ,  B23K26/00 M ,  G01B11/30 A ,  G02B21/00 ,  G02B21/26

Fターム (32件)：

2F065AA49 ,  2F065BB02 ,  2F065CC01 ,  2F065DD06 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ03 ,  2F065NN20 ,  2F065PP03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ23 ,  2F065RR00 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02 ,  2H052AB21 ,  2H052AC34 ,  2H052AD06 ,  2H052AD09 ,  2H052AD16 ,  2H052AD18 ,  2H052AD20 ,  2H052AF02 ,  2H052AF11 ,  2H052AF14 ,  2H052AF23 ,  4E068CA11 ,  4E068CB02 ,  4E068CC01 ,  4E068DA10