特許

J-GLOBAL ID：200903049762982875

現像液管理装置

発明者： 中山 裕嗣 ,  河野 均 ,  篠原 正明 ,  西邑 雄一 ,  上原 淳一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360226
公開番号（公開出願番号）：特開2000-181078
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】 現像装置に安定して現像液を供給することが可能な技術を提供すること。【解決手段】 所定濃度の現像液を貯蔵し現像装置に該現像液を供給する第一の貯蔵手段と、該第一の貯蔵手段に貯蔵される現像液量が所定量以下に低下した時に、前記現像装置から排出された現像液に原液を補充し現像液濃度を所定濃度に戻す第二の貯蔵手段と、前記現像装置から排出される現像液を貯蔵する第三の貯蔵手段とを具備する現像液管理装置において、前記第三の貯蔵手段に前記原液を補充する手段と、前記第三の貯蔵手段に貯蔵する現像液の濃度を監視する監視手段とを設け、該監視出力に基づいて、前記第三の貯蔵手段に原液を補充する。

請求項（抜粋）：

所定濃度の現像液を貯蔵し現像装置に該現像液を供給する第一の貯蔵手段と、該第一の貯蔵手段に貯蔵される現像液量が所定量以下に低下した時に、前記現像装置から排出された現像液に原液を補充し現像液濃度を所定濃度に戻す第二の貯蔵手段と、前記現像装置から排出される現像液を貯蔵する第三の貯蔵手段とを具備する現像液管理装置において、前記第三の貯蔵手段に前記原液を補充する手段と、前記第三の貯蔵手段に貯蔵する現像液の濃度を監視する監視手段とを設け、該監視出力に基づいて、前記第三の貯蔵手段に原液を補充することを特徴とする現像液管理装置。

IPC (4件)：

G03F 7/30 501 ,  B01J 4/00 103 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/30 501 ,  B01J 4/00 103 ,  B05C 11/10 ,  H01L 21/30 569 A

Fターム (22件)：

2H096GA08 ,  2H096LA19 ,  2H096LA25 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA09 ,  4F042BA16 ,  4F042CA01 ,  4F042CA06 ,  4F042CB08 ,  4F042CB20 ,  4F042CC30 ,  4G068AA02 ,  4G068AB15 ,  4G068AC05 ,  4G068AC16 ,  4G068AD21 ,  4G068AE01 ,  4G068AE10 ,  4G068AF01 ,  4G068AF40 ,  5F046LA14