特許
J-GLOBAL ID：200903049766504013
周期性パターンの検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 良平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341394
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159344
出願日： 1993年12月09日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：
【要約】【目的】 周期の測定や検査対象物の設計データを必要とすることなく、周期性パターン検査装置において、誤りなく検査対象物のパターンの周期を検出する。【構成】 本検査装置は、画像メモリ12とホストコンピュータ70から成る周期検出部10を備え、欠陥の検出動作を開始する前に、画像入力部50から出力される検査対象物61の画像信号SAの値(画像データ)を画像メモリ12に格納する。ホストコンピュータ70は、この画像データを用いて基準データの初期位相をライン毎に変えながら複数ラインのデータについて仮の自己相関関数を計算し、それらの計算結果を各シフト量毎に加算する。このようにして加算されたものを自己相関関数として、そのn番目のピークが現われるシフト量を求め、そのシフト量の1/nを求めるべき周期とする。そして、この周期を周期遅延部62に遅延量として設定する。
請求項（抜粋）：
一定の周期で繰り返されるパターンを有する検査対象物の欠陥を検出する検査装置において、a)前記パターンを画素毎に読み取って多値の第1画像信号を出力する画像入力手段と、b)第1画像信号に対して自己相関関数を求める演算手段と、c)前記自己相関関数に基づいて検査対象物のパターンの周期を検出する周期検出手段と、d)周期検出手段によって検出された周期の整数倍の距離を設定する設定手段と、e)第1画像信号が表わす前記パターンから設定手段によって設定された距離だけ離れた検査対象物のパターンを表わす第2画像信号を生成する信号生成手段と、f)第1画像信号と第2画像信号との差信号を生成する信号処理手段と、g)前記差信号に基づいて前記欠陥の有無を判定する判定手段と、を備えることを特徴とする周期性パターン検査装置。
IPC (3件)：
G01N 21/88
, G01B 11/30
, G06T 7/00
G06F 15/62 405 A
, G06F 15/70 460 A
