特許
J-GLOBAL ID：200903049771116064
超精密ラップ盤
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新長 巌
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-315729
公開番号（公開出願番号）：特開平9-123058
出願日： 1995年10月27日
公開日（公表日）： 1997年05月13日
要約：
【要約】【目的】従来装置より超精密かつ高能率のラップ盤を得ることを目的とする。【構成】各別の駆動源により回動させられる上ラップ板、下ラップ板を液体動圧軸受機構によって支持回転させるとともに上・下ラップ板のうち少なくとも一つを正逆回転自在にして垂直荷重の増減に利用すること。
請求項（抜粋）：
水平に回動又は固定し得る上・下ラップ板と該上・下ラップ板の間を水平に回動する被加工物収容キャリヤと該キャリヤを回動的に駆動させるところの中心ギヤ、インターナルギヤ、又はその双方をそなえてなるラップ盤において上・下の各ラップ板を液中に浸漬した動圧軸受機構により支持し、かつ少なくともその一つは正逆回転を可能にしたことを特徴とする超精密ラップ盤の構造。
引用特許：
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