特許

J-GLOBAL ID：200903049772919578

角速度センサ

発明者： ローラン コシャール ,  ピエール ジャネン
出願人/特許権者： ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング
代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-176597
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160409
出願日： 1993年07月16日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】 廉価で精度の高い角速度センサを提供すること。【構成】 2つの加速度センサ(1、2)を回転円板(6)上に配設する。回転軸に対し垂直な軸線を中心とする回転で、加速度センサにはコリオリの力が作用する。加速度センサ(1、2)は、角速度センサの特に正確な校正及びスケーリングを可能にする測微機械的シリコン加速度センサとして構成される。

請求項（抜粋）：

第1の軸線(3)を中心に円形路上で運動する少なくとも1つの加速度センサ(1、2)を含み、該加速度センサ(1、2)は別の2つの軸線(4、5)を中心とする回転により現れるコリオリの力を測定し、前記3つの軸線が互いに垂直に位置する角速度センサにおいて、前記加速度センサ(1、2)を部分的にシリコンから構造化されて作製されていることを特徴とする角速度センサ。