角速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：岩橋文雄 , 坂口智康 , 内藤浩樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-254351
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093318
出願日： 2002年08月30日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】水晶等の単結晶圧電材料よりなる音叉振動子を利用した角速度センサの不要検出信号を削減する。【解決手段】音叉型振動子1は基部2と振動用アーム部3からなり、その加工を上下面からのドライエッチングなどで行うことにより、振動用アーム部3の断面形状を厚み方向かつ幅方向に対称な形状にでき、振動用アーム部3の斜め方向の振動を抑制し、不要な検出信号を削減することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

少なくとも2本の振動用アーム部とこのアーム部を連結する少なくとも1つの基部からなり、前記アーム部に駆動電極と検出電極を設け、前記アーム部の断面形状が略六辺形でその上下の辺に接する左右の辺の長さが等しく、かつ対向する辺が平行である音叉型振動子からなる角速度センサ。

IPC (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 , H01L41/18

FI (4件)：

G01C19/56 , G01P9/04 , H01L41/08 Z , H01L41/18 101A

Fターム (10件)：

2F105AA01 , 2F105AA06 , 2F105AA08 , 2F105BB03 , 2F105BB04 , 2F105BB14 , 2F105BB15 , 2F105CC01 , 2F105CD02 , 2F105CD06

引用特許：

審査官引用 (8件)

非導電性基板への回路形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-285852 出願人：トヨタ自動車株式会社
角速度センサ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-037621 出願人：松下電器産業株式会社
角速度検出センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-222879 出願人：株式会社日立製作所

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