特許
J-GLOBAL ID：200903049783743315
駆動部用の相変化循環システムを有する露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 西 和哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-559013
公開番号（公開出願番号）：特表2009-543320
出願日： 2007年06月29日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：
【課題】露光装置に好ましく用いられる動力機器を提供する。【解決手段】装置を移動させかつ位置決めする動力機器は、流体通路(370)を規定する駆動部(328)と、通路入口(374)と通路出口(376)とを有する循環システム(330)とを備える。循環システムは循環流体(378)を流体通路に導く。循環システムは流体通路に流体的につながった液体セハ ゚レータ(384)を有することができる。この構成において、液体(378A)及び気体(378B)用の配管の最適化がそれぞれ可能となる。循環システムは流体通路の少なくとも一部における循環流体の圧力を制御する圧力制御装置(388)を有することができる。この構成において圧力制御装置は通路出口(376)での循環流体の温度が通路入口(374)での循環流体の温度とほぼ等しくなるように、流体通路(370)の近傍における循環流体の圧力を制御する。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
導体を有し、前記導体の近傍に位置する流体通路を規定する駆動部と;
循環流体を前記流体通路に導く循環システムであって、前記流体通路に流体的につながるセパレータを有し、前記セパレータは液体から気体を分離する、前記循環システムと、
を備える動力機器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/30 516E
, G03F7/20 521
5F046AA22
, 5F046BA03
, 5F046DA26
, 5F046DA27
, 5F046DB02
, 5F046DB03
, 5F046DC12
