特許
J-GLOBAL ID：200903049788135429
レジストの金属低減化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
諸石 光▲ひろ▼ (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176550
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019463
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：
【要約】【目的】 レジストに含まれる金属の量を少なくする。【構成】 レジストを、20°Cにおける水に対する溶解度が100g/cc以下である有機溶媒に溶解し、その溶液を水または酸性水溶液と接触させて液々抽出する。【効果】 処理前のレジストに含まれているナトリウム、鉄、カルシウム、ニッケル、クロムなどの金属を大幅に減少させることができる。
請求項（抜粋）：
レジストを、20°Cにおける水に対する溶解度が100g/cc以下である有機溶媒に溶解し、その溶液を水または酸性水溶液と接触させて液々抽出することを特徴とするレジストの金属低減化方法。
IPC (3件)：
G03F 7/022
, B01D 11/04
, G03F 7/26
