超音波顕微鏡

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084195
公開番号（公開出願番号）：特開平5-288729
出願日： 1992年04月06日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】本発明は装置の小形化及びコストダウンを図り、誤差のほとんど含まれない音速測定値による信頼性の高い試料評価を実現することを目的とする。【構成】試料のV(z)曲線を測定して試料を評価する超音波顕微鏡において、V(z)曲線から位相情報まで含んだ複素V(z)データを求める手段8と、試料-音響レンズ間距離が音響レンズ2の焦点距離よりも大なる範囲での複素V(z)データの位相データから超音波伝播媒体3の音速を求める音速測定手段8と、この手段にて得られた音速情報と複素V(z)データとから試料の反射率を求める反射率測定手段9とを具備してなる。

請求項（抜粋）：

音響レンズにより収束させた超音波を試料に入射しその試料からの反射超音波を電気的な反射信号に変換して取込み、超音波の入射方向をZ軸として、音響レンズ又は試料のZ軸方向の位置Zとその位置に対応した前記反射信号の信号値Vとの関係を表すV(z)曲線を測定し、そのV(z)曲線を解析して前記試料に関する情報を得る超音波顕微鏡において、前記V(z)曲線から前記反射超音波の位相情報まで含んだ複素V(z)データを求める手段と、試料-音響レンズ間距離が前記音響レンズの焦点距離よりも大なる範囲での前記複素V(z)データの位相データから、試料-音響レンズ間に充填された超音波伝播媒体の音速情報を求める音速測定手段と、前記音速測定手段によって求められた音速情報と前記複素V(z)データとから前記試料の反射率を求める反射率測定手段と、を具備したことを特徴とする超音波顕微鏡。

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