特許
J-GLOBAL ID：200903049797947002
電子デバイス設計装置、電子デバイス設計方法および電子デバイス設計プログラムを格納したコンピュータ読取り可能な記録媒体
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-269518
公開番号（公開出願番号）：特開2001-093792
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：
【要約】【課題】 電子デバイスの製造に要する経費を削減する。【解決手段】 1つの不良の救済に必要な救済回路数別の不良数を抽出する不良数抽出手段111と、救済回路数別の不良数および全救済回路数を用いて、複数の不良状態に対して、不良が救済可能となるか否か判別する制御手段115と、救済可能な不良条件の各々について、不良条件が発生する確率を計算し、計算された全ての確率を加算し、救済後歩留りを抽出する歩留り抽出手段112と、救済後歩留り、電子デバイスのチップ面積および救済回路を除いたチップ面積を参照して、実効的な救済後歩留り若しくは1枚のウェハから取れる良品数を抽出し、実効的な救済後歩留り若しくは1枚のウェハから取れる良品数を最大にする救済回路構成を決定する最適化処理手段113を備える。
請求項（抜粋）：
1つの不良の救済に必要な救済回路数別の不良数を抽出する不良数抽出手段と、前記救済回路数別の不良数および全救済回路数を用いて、複数の不良状態に対して、不良が救済可能となるか否か判別する制御手段と、救済可能な不良条件の各々について、当該不良条件が発生する確率を計算し、計算された全ての確率を加算し、救済後歩留りを抽出する歩留り抽出手段と、前記救済後歩留り、電子デバイスのチップ面積および救済回路を除いたチップ面積を参照して、実効的な救済後歩留り若しくは1枚のウェハから取れる良品数を抽出し、実効的な救済後歩留り若しくは1枚のウェハから取れる良品数を最大にする救済回路構成を決定する最適化処理手段と、前記救済回路構成を用いて、電子デバイスを設計する電子デバイス設計手段とを備えることを特徴とする電子デバイス設計装置。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, H01L 21/66
, H01L 21/82
H01L 21/02 Z
, H01L 21/66 Z
, H01L 21/82 R
4M106AA01
, 4M106AA02
, 4M106AA08
, 4M106BA20
, 4M106DJ12
, 4M106DJ38
, 5F064EE15
, 5F064EE17
, 5F064FF02
, 5F064HH09
, 5F064HH10
