特許
J-GLOBAL ID：200903049798653088
プラズマアドレス表示装置の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-358747
公開番号（公開出願番号）：特開平10-213791
出願日： 1996年12月27日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：
【要約】【課題】 プラズマセルに形成される隔壁を破損もしくは倒壊することなくその頂部を精密に研磨可能にする。【解決手段】 プラズマアドレス表示装置は走査方向に沿って順次配列した放電チャネルを備えたプラズマセルと、プラズマセルに接合し走査方向と直交する方向に順次配列した信号電極及びこれに接する電気光学物質層を備えた表示セルとからなる。プラズマセルは所定の間隙を介して表示セル側に接合した基板と、各放電チャネルに沿って基板の上に形成された放電電極と、各放電チャネルを互いに仕切るように基板の上に形成された隔壁とを有している。このプラズマセルを作成するために、まず基板8の上に放電電極9を形成する。次に放電電極9に重ねて所定の厚み以上となる様に絶縁物層10aを基板8の全面に形成する。続いて絶縁物層10aの表面10bを所定の厚みになるまで研磨して平坦化する。この後サンドブラストにより絶縁物層10aを選択的に研削して隔壁に加工する。最後に、各隔壁の頂部に接して誘電体シートを取り付け、その上に表示セルを形成する。
請求項（抜粋）：
走査方向に沿って順次配列した放電チャネルを備えたプラズマセルと、該プラズマセルに接合し走査方向と直交する方向に順次配列した信号電極及びこれに接する電気光学物質層を備えた表示セルとからなり、前記プラズマセルは所定の間隙を介して該表示セル側に接合した基板と、各放電チャネルに沿って該基板の上に形成された放電電極と、各放電チャネルを互いに仕切る様に該基板の上に形成された隔壁とを有しているプラズマアドレス表示装置の製造方法であって、基板の上に放電電極を形成する工程と、放電電極に重ねて所定の厚み以上となる様に絶縁物層を基板の全面に形成する工程と、該絶縁物層の表面を所定の厚みになるまで研磨して平坦化する研磨工程と、サンドブラストにより該絶縁物層を選択的に研削して隔壁に加工する工程と、各隔壁の頂部に接して該電体シートを取り付けその上に表示セルを形成する工程とを行うことを特徴とするプラズマアドレス表示装置の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02F 1/1333
, H01J 9/02 F
