微小異物除去装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡辺正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-165546
公開番号（公開出願番号）：特開平10-012581
出願日： 1996年06月26日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】薬液や、超純水を使用する洗浄工程を不要としてコストダウンを図ると共に効率のよい微小異物除去を提供する。【解決手段】板状部材の表面に外径が気密状態で、かつ移動可能に支持された複数のノズルと、この複数のノズルの先端から前記板状部材に向かって所定の圧力の気体を吹付ける気体供給手段と、前記複数のノズルの夫々に対応して設けられた吸引孔と、この吸引孔を介して前記気体を吸引する気体吸引手段と、を備えている。

請求項（抜粋）：

板状部材の表面に外径が気密状態で、かつ移動可能に支持された複数のノズルと、この複数のノズルの先端から前記板状部材に向かって所定の流量の気体を吹付ける気体供給手段と、前記複数のノズルの夫々に対応して設けられた吸引孔と、この吸引孔を介して前記気体を吸引する気体吸引手段と、を備えたことを特徴とする微小異物除去装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 5/00

FI (3件)：

H01L 21/304 341 G , H01L 21/304 341 N , B08B 5/00 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

特公昭50-034861
特公昭60-018233
特開平1-225125

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