特許
J-GLOBAL ID：200903049806251008
フローセンサ、その製造方法および駆動方法
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
佐竹 良明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-151092
公開番号（公開出願番号）：特開平8-320245
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：
【要約】【目的】 大きな流速も計測できる高感度で高精度のフローセンサを得る。【構成】 第一の支持基板11の表側と裏側の表面にそれぞれ薄膜状の電熱ヒータ12と一方の温度センサの薄膜13とを形成し、これらの薄膜状の電熱ヒータ12と一方の温度センサの薄膜13との間にある支持基板材料を異方性エッチャントを用いて部分的にエッチング除去して第一の空洞15を形成する。第一と同等な第二の支持基板16の一方の面に、他方の温度センサの薄膜17を形成して、その下部の支持基板材料を第一基板と同様に部分的にエッチング除去して第二の空洞19を形成したのち、第一と第二の空洞15、19を介して一対の温度センサの薄膜13、17が薄膜状の電熱ヒータ12をサンドイッチ状に挟むように第一と第二の基板11、16同士を接着剤18で張り合わせる。それぞれの薄膜に連通孔21を形成し、被測定流体がゆっくりと空洞部15、19に出入りできるようにする。
請求項（抜粋）：
電熱ヒータと薄膜状の一対の同等な温度センサとを、これらの支持基板から浮かせ熱的分離を図り、流体の流れを検出するようにしたフローセンサにおいて、前記一対の温度センサの面で前記電熱ヒータを熱伝導不良媒体を介してサンドイッチ状に挟むように近接して設けると共に、被測定流体の流れに対して平行に配置し、前記一対の温度センサのうち、一方を被測定流体の流れから遮蔽されるようにし、他方を被測定流体の流れに晒すように構成しておき、被測定流体の流れに関連して前記一対の温度センサの温度差が変化するように構成したことを特徴とするフローセンサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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