特許
J-GLOBAL ID：200903049809202644
マイクロ波誘導プラズマへの原料供給方法及び装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
光石 俊郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-282245
公開番号（公開出願番号）：特開平7-135094
出願日： 1993年11月11日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 マイクロ波放電装置において、種々の圧力、温度条件で放電プラズマ中の原料となる分子のエネルギー状態を空間的に制御し、効率の良い反応条件を設定することができるマイクロ波誘導プラズマへの原料供給方法及び装置を提供することを目的とする。【構成】 マイクロ波放電が発生している空間に同軸導波管を形成する内導体4の内部に原料ガス11を通すことによって放電プラズマ中に原料を供給し、また、必要に応じ空胴共振器1へのマイクロ波導入用アンテナに同軸導波管の内導体4を結合し、原料ガス供給口とするものである。
請求項（抜粋）：
マイクロ波発振器から出力されたマイクロ波を伝送用同軸導波管を用いて空胴共振器中へ導入し、マイクロ波の電界によって放電を発生させる装置において、マイクロ波放電が発生している空間に前記同軸導波管を形成する内導体の内部に原料ガスを通すことによって放電プラズマ中に原料を供給することを特徴とするマイクロ波誘導プラズマへの原料供給方法。
IPC (2件)：
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