特許
J-GLOBAL ID:200903049810284093

波長選択フィルタ及び波長制御モジュール

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-208896
公開番号(公開出願番号):特開2002-022938
出願日: 2000年07月10日
公開日(公表日): 2002年01月23日
要約:
【要約】【課題】 簡単な構造で、温度変動により生じる波長ドリフト量を低減可能な波長選択フィルタを提供する。簡単な構造で、環境温度の変動によらずに正確な波長変動量を検出することができる波長制御モジュールを提供する。【解決手段】 外部から入射した光が、ハーフミラー、バンドパスフィルタを介して第2フォトダイオードに入射するように光軸上に配置されると共に、全反射ミラーと第1フォトダイオードは、ハーフミラーにより反射された光が第1フォトダイオードに入射するように光軸外の所定位置に配置された波長制御モジュール。バンドパスフィルタは、サブストレート基板と交互酸化物誘導体多層膜とから構成され、前記サブストレート基板は、BaLF2のように、モニタ装置の使用温度環境においてバンドパスフィルタとしての透過波長変動量のグラフが少なくとも1つの極値を持つ膨張収縮性を有するように調整する屈折率、線膨張係数を有している。
請求項(抜粋):
基板上に複数の誘電体膜が積層され、予め定めた所定範囲の波長の光を選択的に透過させる波長選択フィルタであって、温度に対する前記波長選択フィルタの透過波長変動量のグラフが予め定めた所定温度範囲内で少なくとも1つの極値を持つように、膨張収縮性が選択された基板を備えた波長選択フィルタ。
IPC (2件):
G02B 5/28 ,  G01J 3/26
FI (2件):
G02B 5/28 ,  G01J 3/26
Fターム (13件):
2G020AA04 ,  2G020CB43 ,  2G020CC26 ,  2G020CD06 ,  2G020CD13 ,  2G020CD24 ,  2H048GA07 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA34 ,  2H048GA48 ,  2H048GA51 ,  2H048GA62

前のページに戻る