特許
J-GLOBAL ID:200903049815846235

角速度検出装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 長谷川 芳樹 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-130259
公開番号(公開出願番号):特開平9-311041
出願日: 1996年05月24日
公開日(公表日): 1997年12月02日
要約:
【要約】【課題】 高精度に角速度を検出できる角速度検出装置を提供する。【解決手段】 角速度検出装置は、Y軸に垂直な断面が第1及び第2角部を有する圧電性結晶部6p、第1角部を覆う第1電極6a及び第2角部を覆う第2電極6cを有する振動片6を備えた振動子102と、Z軸に沿って振動片6が屈曲したときに第1電極6aと第2電極6cとの間に発生する電位差に基づいて角速度を検出する検出回路とを備える。
請求項(抜粋):
被検出体に設けられ、前記被検出体が所定の軸回りに回動する回動運動の角速度を検出する角速度検出装置であって、前記所定の軸に沿って延び、且つ、前記軸に垂直な断面が第1及び第2角部を有する圧電性結晶部、前記第1角部を覆う第1電極及び前記第2角部から所定距離以内の領域の少なくとも一部を覆う第2電極を有する振動片を備えた振動子と、前記第1角部から前記第2角部に向かう方向及び前記軸の伸延方向の双方に垂直な方向に沿って前記振動片が屈曲したときに前記第1電極と前記第2電極との間に発生する電位差に基づいて前記角速度を検出する検出回路と、を備える角速度検出装置。
IPC (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04
FI (2件):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04

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