特許
J-GLOBAL ID：200903049821077529

塗布、現像装置

発明者：
佐藤 紀勝

佐藤 紀勝 について

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緒方 久仁恵

緒方 久仁恵 について

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木村 義雄

木村 義雄 について

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富田 浩

富田 浩 について

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中島 清次

中島 清次 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (1件)： 井上 俊夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-217722
公開番号（公開出願番号）：特開2002-033266
出願日： 2000年07月18日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】 レジストパターンが形成された基板について、塗布、現像装置の中でパターン検査を行うことができるようにすると共に、組み込んだパターン検査装置を単独で使用できるようにすること。【解決手段】 塗布、現像装置のキャリアステーションの横に、パターン検査ユニット及び補助アームを備えた検査ステーションを接続すると共に、例えば両ステーションの一方側に中間載置部を設け、この中間載置部を介してキャリアステーションの受け渡しアームと前記補助アームとの間でウエハの受け渡しを行うように構成する。当該装置で現像されたウエハは受け渡しアームを介して検査ステーションに搬入され、また例えば処理ステーションのメンテナンス時などにおいては、外部からキャリアステーションにキャリアを搬入し、受け渡しアームを利用してそのキャリア内のウエハを検査ステーションに搬入する。
請求項（抜粋）：
基板にレジストを塗布すると共に露光後の基板を現像し、露光装置に接続される塗布、現像装置において、複数枚の基板が収納されたキャリアが搬入出されるキャリア搬入出部とこのキャリア搬入出部に載置されたキャリアに対して基板の受け渡しを行うための受け渡し手段とを含むキャリアステ-ションと、このキャリアステ-ションに隣接して設けられ、基板にレジストを塗布する塗布部と、露光後の基板に対して現像を行う現像部と、塗布部及び現像部に対して基板の搬送を行うと共に前記受け渡し手段との間で基板の受け渡しを行う主搬送手段と、を含む処理ステ-ションと、前記キャリアステ-ションに隣接して設けられ、処理後の基板を検査する検査部を備えた検査ステ-ションと、外部で処理した基板を収納したキャリアが持ち込まれるための外部キャリア載置部と、前記処理ステ-ションで処理された基板を検査部で検査する通常モ-ドと外部で処理された基板を検査部で検査する検査部単独使用モ-ドとの間でモ-ドを選択するモ-ド選択手段と、を備えたことを特徴とする塗布、現像装置。
IPC (6件)：
H01L 21/027 ,  G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68 ,  H05K 3/00
FI (7件)：
G03F 7/16 501 ,  G03F 7/30 501 ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/68 A ,  H05K 3/00 Q ,  H01L 21/30 562 ,  H01L 21/30 502 V
Fターム (52件)：
2H025AB16 ,  2H025EA04 ,  2H096AA25 ,  2H096GA24 ,  2H096GA29 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106CA50 ,  4M106CA55 ,  4M106CA70 ,  4M106DB04 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ06 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ38 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA03 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA15 ,  5F031GA02 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031GA58 ,  5F031JA02 ,  5F031JA04 ,  5F031JA06 ,  5F031JA23 ,  5F031JA32 ,  5F031MA02 ,  5F031MA03 ,  5F031MA09 ,  5F031MA13 ,  5F031MA15 ,  5F031MA24 ,  5F031MA26 ,  5F031MA33 ,  5F031PA02 ,  5F046CD01 ,  5F046CD05 ,  5F046JA04 ,  5F046JA22 ,  5F046LA01 ,  5F046LA18
引用特許：
出願人引用 (6件)
全件表示
審査官引用 (2件)

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